Phenom Pharos > 주사전자현미경

㈜아이엠에스코리아는, 주사전자현미경(SEM) / 전자현미경 소모품 및 샘플 전처리 장치의
국내외 제품을 전문적으로 공급하고 있습니다.

PRODUCTS

Phenom - Desktop SEM

Phenom Pharos

Phenom Pharos는 Field emission(FEG) 소스가 있는 유일한 데스크탑 SEM입니다.
가장 많이 보급 된 Phenom 데스크탑 SEM과 동일한 컴팩트한 디자인으로 선명한 CeB6 전자빔보다 더 고휘도 고해상도 이미지를 얻으면서 쉽고 빠른 작동을하며 FE-SEM의 소형화로써 가장 선도적인 장비입니다.

LIST

본문

Key Features

  • Superb Image Quality

    Phenom Pharos SEM에 사용된 전계 방출 소스는 기존 텅스텐 SEM 소스보다 훨씬 더 밝고 더 오랜기간 강한 빔을 생성합니다. 즉, 간편하게 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

  • No User Maintenance

    Phenom SEM은 사용 후 빔을 대기 상태로 유지 가능합니다. 사용할 때만 빔을 켜두어 전자총의 수명을 효율적으로 사용합니다. 텅스텐 기반 SEM과 달리 소스를 자주 변경할 필요가 없습니다. 한 번의 유지 관리로 몇 년 동안 사용합니다.

  • Ease of Use

    Phenom SEM은 전자 이미지와 정확하게 연동된 전동식 스테이지 및 광학 스테이지 카메라로 정밀한 탐색 기능을 제공합니다.

  • Vibration Insensitivity

    Phenom SEM은 진동에 둔감한 유일한 SEM입니다. 시끄러운 환경에서 사용할 수 있으며 특수 테이블이나 진동 차단 플랫폼이 필요하지 않습니다.

  • Speed to Image

    샘플을 SEM에 로딩하고 30초 만에 라이브 SEM 이미지를 얻습니다. Phenom SEM은 혁신적인 로드락 스테이지 설계 덕분에 가장 빠른 로딩 시간을 가진 SEM입니다.

  • Low-Vacuum Mode

    내장된 저진공 모드를 사용하여 추가 샘플 준비 또는 금 코팅 없이 비전도성 샘플을 이미지화합니다. 특별한 디텍터나 추가 비용이 필요하지 않습니다.

  • Easy Upgrade Path

    옵션 소프트웨어 패키지 제품군을 사용하면 다양한 애플리케이션을 위한 자동화된 이미지 수집 및 처리가 가능합니다. 모든 Phenom SEM에는 자동 이미지 스티칭이 포함되어 있습니다.

  • Variety Sample Holders

    Phenom P-Series 제품군은 전문적 분석 환경을 위한 다양한 기능을 가진 홀더를 지원합니다.

Overview

  • Highest resolution desktop SEM

    전계 방출 전자 소스(FEG)는 안정적인 고휘도 빔을 제공하며 전계 방출 팁은 일반적으로 2년 이상 지속되므로 정기적인 팁교체가 필요없으며 가동 중지 시간이 없습니다. 많은 기업 및 연구소는 이러한 번거로움을 피하기 위해 실험실이나 공용장비 시설에 대부분 FEG SEM 분석을 아웃소싱합니다. 이러한 번거로움은 Phenom Pharos Desktop FEG-SEM으로 사라졌습니다. 모든 유저들에게 FEG 성능을 제공하며 설치 및 운영이 너무 쉬워 해당 연구 그룹, 부서 또는 회사가 자체 FEG SEM을 소유하고 더 이상 외부 분석서비스에 의존하실 필요가 없습니다.

    pro1_detail4_img2.jpg

  • Versatility in applications Sample Holder

    샘플 로딩은 간단하고 쉬우며 세계에서 가장 빠른 Vent/Pump 시간을 보장합니다. 또한 다양한 어플리케이션 샘플 홀더를 제공하여 모든 분야의 샘플에 대한 데이터 수집 기능을 향상시킬 수 있습니다.

    pro1_detail4_img3.jpg

  • Intuitive Software

    이미징은 클릭 한 번으로 간단합니다. 원격으로 액세스할 수 있는 UI를 사용하여 기기를 실행하고 집에서 데이터를 수집할 수 있습니다.

    pro1_detail3_img4.jpg

  • Live EDS analysis

    Phenom 데스크탑 SEM은 Live EDS를 통하여 이미징 모드에서 포인트 클릭을 통해 즉각적인 정성 정량 데이터를 제공하며, EDS Line 및 EDS fast mapping을 포함한 고급 분석은 통합 EID 애플리케이션을 통해 편리하게 분석을 할 수 있습니다.

    pro1_detail3_img5.jpg

  • Fast Workflow

    시스템은 항상 켜져 있고 이미지를 생성할 준비가 되어 있습니다. 샘플을 로드하고 초점이 맞춰진 SEM 이미지를 얻는 데 약 60초 소요됩니다.

    pro1_detail1_img3.jpg

Specification

Models & Specification
Items pro1_detail1_img6.jpg pro1_detail1_img7.jpg pro1_detail1_img8.jpg pro1_detail1_img9.jpg
Model Phenom Pure Phenom Pro.ProX Phenom XL Phenom Pharos
Electron
Source		 CeB6 crystal CeB6 crystal CeB6 crystal Field-emission Filament
Max.
Magnification		 x175,000 x350,000 x200,000 x2,000,000
Resolution 15nm SE
15nm BSE		 6nm SE
8nm BSE		 10nm SE
10nm BSE		 ＜2nm SE
3nm BSE
Acceleration
Voltages		 5~10 kV 5~20 kV 5~20 kV 1~20 kV
Sample
loading time		 Light optical ＜5s
Electon optical ＜30s		 Light optical ＜5s
Electon optical ＜30s		 Light optical ＜5s
Electon optical ＜60s		 Light optical ＜5s
Electon optical ＜30s
Navigation
Camera
Motorized
Stage
Vacuum
Options		 High and Low vacuum
sample holders		 High and Low vacuum
sample holders		 High and Low vacuum
sample holders
(software selectable)		 High and Low vacuum
sample holders
(software selectable)
Sample
Handling		 Sing pin stub 25 mm
diameter		 Sing pin stub 25 mm
diameter		 Up to 36 pin stubs
100 mm × 100 mm		 Sing pin stub 25 mm
diameter
Detectors BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)		 BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)		 BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)		 BSE (Standard)
SEM (Optional)
EDS (Optional)
Dimensions
(mm)		 286(W)×566(D)×495(H) 286(W)×566(D)×495(H) 286(W)×566(D)×495(H) 286(W)×566(D)×495(H)
Shipping
Weight		 50 kg 42 kg 60 kg 44 kg

Video