Axia ChemiSEM > 주사전자현미경

㈜아이엠에스코리아는, 주사전자현미경(SEM) / 전자현미경 소모품 및 샘플 전처리 장치의
국내외 제품을 전문적으로 공급하고 있습니다.

PRODUCTS

Normal SEM - Full size SEM

Axia ChemiSEM

Axia™ ChemiSEM™은 가능한 가장 효율적인 SEM-EDS 사용자 경험을 제공하도록 설계된 차세대 주사 전자 현미경입니다. Axia는 ChemiSEM™ 기술을 사용하여 정량적 원소 매핑에 대한 실시간 액세스를 제공합니다. Axia는 또한 다양한 검출기 옵션과 모든 SEM 중 가장 큰 중량 용량을 통해 새로운 수준의 견고성과 유연성을 제공합니다.

LIST

본문

Key Features

  • Highlights

    - 실시간 정량적 구성 이미징 원소 분석 매핑 (ColorSEM)
    - Fully Auto 모드를 통한 간단한 사용자 인터페이스 및 장비 유지 보수
    - 5축 모터 스테이지이며 compucentric 스테이지를 통한 다양한 시료 측정 가능
    - 현존하는 최대의 챔버 사이즈를 통하여 최대 25cm 무게 10kg의 샘플 수용 가능
    - 150Pa의 저진공을 통하여 바이오 시료 및 절연 시료 수용 가능
    - 신뢰성 설계를 통한 장비 유지보수의 시간 절약

  • Key Features

    - Live quantitative elemental mapping.
    - Easy to get stared
    - Flexible sample loading
    - Excellent imaging performance
    - Diverse software and detection options for advanced applications
    - Easy maintenance

Overview

  • ChemiSEM Technology

    ChemiSEM은 샘플에서 구성 정보의 수집, 처리 및 표시를 간소화하는 EDS 분석에 대한 근본적으로 새로운 접근 방식입니다. 빔을 켜자마자 이미지의 색상을 통해 정량적 원소 정보를 관찰할 수 있습니다. ChemiSEM은 전용 하드웨어를 사용하여 X선과 영상 신호를 실시간으로 통합합니다. 특징 인식 알고리즘은 전체 해상도에서 지능적으로 이미지를 채색하기 위해 그레이스케일 이미지와 함께 사용되며, 고급 스펙트럼 처리 알고리즘은 X선 데이터에 사용되어 모든 픽셀에 정량적으로 정확한 구성 정보가 포함되도록 합니다.

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  • Unmatched Sample Capacity

    Axia ChemiSEM은 새로운 수준의 견고성과 유연성을 제공하는 전체 챔버에 대한 액세스를 제공하는 도어와 함께 대용량 샘플을 제공합니다. 새로운 디자인 덕분에 Axia ChemiSEM은 최대 10kg의 가장 높은 무게를 수용하므로 샘플을 절단하는 시간을 절약하고 시간이 오래 걸리고 쓸모없는 샘플 준비를 방지할 수 있습니다.

    - 5-axis motorized, compucentric stage
    - 120×120 min X-Y, Z-axis travel 55 mm (@ 0˚ tilt)
    - Tilt -15˚ to +90˚
    - Max. sample height : 128 mm @ 10 mm analytical WD.
    - Max. sample width : 267 mmMax. sample weight 10 kg

  • Wide Range of Standard Detectors

    모든 Axia에는 최대의 유연성을 위해 3개의 감지기(SED, BSD 및 EDS)와 2개의 카메라(컬러 탐색 카메라 및 IR 챔버 카메라)가 기본으로 제공됩니다. 시스템의 5개 추가 챔버 포트 중 하나에 설치할 수 있는 음극발광(범 크로매틱, RGB 및/또는 스펙트럼 CL), EBSD 및 상관현미경(CLEM) 을 포함한 광범위한 추가 검출기도 사용할 수 있습니다.

  • User-Friendly Software

    Axia ChemiSEM은 특히 EDS 획득과 관련하여 명확하고 간단한 작동에 중점을 둡니다. ChemiSEM 기술은 EDS 맵을 수집하는 데 걸리는 시간을 절반으로 줄입니다. 아래 비디오에서 사용자는 80x에서 2000x로 확대하고 체류 시간을 늘려 선명한 이미지를 수집한 다음 ChemiSEM으로 전환하여 실시간으로 채색된 정량적 EDS 매핑을 30초 만에 완료합니다!

Specification

Model Axia ChemiSEM
Electron Source Pre-centered and pre-heated tungsten filament
Imaging Resolution (SE) 3 nm @ 30 kV
8 nm @ 3 kV
Stage Axes XYZTR
XY : 120×120 mm
Z : 55 mm
Tilt : -15˚ to +90˚
Max Sample Size (ZTR Axes Removed) 240×280×128 mm
10 kg
Standard Detectors Everhart-Thornley SE Detector
Retractable BSE detector (2 Segment)
TrueSight X EDS detector with ChemiSEM technology
Color optical navigation camera
IR chamber camera
Vacuum Options High vacuum (standard)
Variable pressure up to 150 Pa (optional, includes low vacuum detector)
Customizability Five available chamber ports. Optional EBSD or cathodoluminescence.

Video